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MQ564S三坐標測量儀技術指標及性能簡介

MQ564S三坐標測量儀由機械系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、測頭系統(tǒng)三大部分組成。

①Y軸主導軌②主立柱③工作臺（工件放置區(qū)）④扭子開關⑤X軸（橫梁）⑥Z軸及Z軸防護⑦測頭系統(tǒng)⑧X軸微動調節(jié)手輪⑨副立柱⑩Y軸副導軌

機械系統(tǒng)：由工作臺、導軌、主副立柱、橫梁、Z軸及防護主要部件組成。縱軸為Y軸，橫軸為X軸，豎軸為Z軸。三軸導軌由花崗巖經精密加工而成，具有穩(wěn)定性高、熱膨脹系數小的特點，它和空氣軸承配合使用，使測量儀移動部件移動時輕快、靈活，滿足高效、精密測量的需求。為保證空氣軸承正常使用，測量機配備了過濾精度高達0.3um的過濾器對壓縮空氣進行過濾，它位于工作臺底部支撐的后面。三軸微動調節(jié)裝置采用摩擦輪傳動，滿足小孔、溝槽等的測量的要求。

電氣系統(tǒng)：包括計數系統(tǒng)，模糊識別系統(tǒng)，壓力控制系統(tǒng)，測頭系統(tǒng)

計數系統(tǒng)：包括讀數頭光柵尺，轉接盒和計數卡：讀數頭光柵尺：產生計數信號，采集各軸位置信號，即位置傳感器。分為X軸接線；Y軸接線和Z軸接線，分別定義為RX、RY和RZ。模糊識別系統(tǒng)包括模糊識別功能鍵，轉接板，轉接盒和計數卡。

壓力控制系統(tǒng)：分為工作電源，轉接盒，防墜開關，電磁閥。壓力系統(tǒng)功能是防止Z軸意外滑落。開機時如果Z軸重力平衡系統(tǒng)出現故障時的保護功能系統(tǒng)。

測頭系統(tǒng)：由測頭座、測頭、測針、轉接盒、計數卡和電纜組成。